掃描透射電子顯微鏡既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡。STEM用電子束在樣品的表面掃描，通過電子穿透樣品成像。STEM技術要求較高，要非常高的真空度，并且電子學系統比TEM和SEM都要復雜。掃描透射電子顯微鏡是指透射電子顯微鏡中有掃描附件者，尤其是指采用場發射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點而出現的一種新型分析方式。
掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在于探測器置于試樣下方，探測器接受透射電子束流或彈性散射電子束流，經放大后，在熒光屏上顯示與常規透射電子顯微鏡相對應的掃描透射電子顯微鏡的明場像和暗場像。
STEM掃描電鏡的工作原理是什么？
STEM成像不同于一般的平行電子束TEM， EDS 成像，它是利用會聚的電子束在樣品上掃描來完成的。在掃描模式下，場發射電子源發射出電子，通過在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點掃描樣品的一個區域。在每掃描一點的同時，樣品下面的探測器同步接收被散射的電子。對應于每個掃描位置的探測器接收到的信號轉換成電流強度顯示在熒光屏或計算機顯示器上。樣品上的每一點與所產生的像點一一對應。從探測器中間孔洞通過的電子可以利用明場探測器形成一般高分辨的明場像。環形探測器接受的電子形成暗場像。
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